CVDコーティング
PBN/PGヒーター
気相成長法（CVD法）によって製造される
窒化ホウ素、グラファイトは高純度、高温で安定した材料です。
当社では海外製販売を行っています。
PBNボート・VGF坩堝・LEC坩堝・MBE坩堝
OLED蒸着用坩堝
PBN/PGコーディング坩堝
アルミナ合金などで使用するEB蒸着ハースライナー
カーボン/PGコーディング部品
CVD法による製造した高純度グラファイトです。
超高温で安定し、腐食性ガスやプラズマに強い為、半導体製造装置部品として優れた性能を発揮します。
電気抵抗率：5×10-4Ω・㎝
