石英ガラス
石英ガラスの特徴
石英ガラスは、可視光線のほとんどを通す高い透明性を持っています。
そのため、光学機器や光ファイバー、液晶パネルなどに広く使用されています。
また熱に強く、高温に耐える性質があります。
このため、高温で使用される製品や装置に使用されることが多く
例えば半導体製造プロセスの中でウエハーを支持するウエハーボートなどに使用されます。
モース硬度が約7で、一般的なガラスよりも硬く、傷がつきにくいという特徴があります。
そのため、高精度な機器部品やセンサー、液晶ディスプレイなどに使用されます。
そして熱膨張率が低いという特徴があります。
温度変化による歪みを抑えるために
高精度な光学機器やセンサーに使用しております。
石英ガラスの化学成分
溶融石英ガラスは、高純度の二酸化ケイ素（SiO2）を
高温で溶かし冷却固化させたもので
非常に高い耐熱性や化学的耐久性を持ちます。
この種のガラスは、光学機器や半導体製造など
高い品質と純度が必要な分野でよく使用されます。
含有する不純物は、溶融石英ガラスは数十ppm
合成石英ガラスは数ppmのレベルでしかありません。
| ( ppm ) | |||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 溶融石英 | Al | B | Ca | Cu | Fe | Li | Mg | Mn | K | Na | Ti | Ni | OH |
| 半導体 グレード① |
14.2 | 0.08 | 0.5 | <0.05 | 0.23 | 0.44 | <0.05 | <0.05 | 0.25 | 0.12 | 0.13 | <0.05 | 200 |
| 半導体 グレード② |
8 | 0.04 | 0.6 | <0.05 | 0.15 | 0.15 | <0.05 | <0.05 | 0.07 | 0.08 | 1.4 | <0.05 | 200 |
| 汎用 グレード |
22 | 0.2 | 1.5 | 0.01 | 1.5 | 2 | 0.3 | 0.5 | 2 | 2 | 2 | 0.1 | 200 |
| 合成石英 | Al | Ca | Mg | Cu | Fe | Ni | Mn | Li | Na | K | Ti | B | OH |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 光学 グレード |
0.7 | <0.1 | 0.1 | <0.1 | <0.1 | 0.05 | <0.1 | 0.1 | 0.08 | <0.1 | 0.1 | <5 | <0.1 |